측정 및 테스트 산업에서 XD 레이저 간섭계의 적용

레이저 간섭계 및 대도체 탐지
컴퓨터 및 전자 기술의 빠른 개발로 인해 CNC 공작 기계 산업은 또한 큰 진전을 이루었으며 측정 및 탐지 요구 사항이 점점 더 효율적이고 정제되고 있습니다. 따라서 CNC 공작 기계의 품질을 평가하는 방법, 정확도 수준이 중요한 요소가되었습니다. 레이저 간섭계는 CNC 공작 기계, CMM, 길이 측정 기계 등의 효율적이고 정확한 탐지 장비입니다.
레이저 간섭계는 HE-NE 레이저를 캐리어로 사용하고 Michelson 간섭계 시스템을 사용하여 일반적인 변위 길이를 측정합니다. 지금까지 고정밀 및 고감도 측정 기기로 인식되며 고급 제조 분야에서 널리 사용됩니다. 레이저 간섭계를 사용하면 효율이 낮고 정확도가 낮고 인적 요인에 의한 간섭과 같은 전통적인 수동 탐지의 단점을 피합니다. 효율적이고 빠르며 편리합니다. 특히 측정 및 탐지 분야에서는 매우 효율적이고 대체 할 수없는 장비가되었습니다.
이 경우 좌표, 변위 센서 및 길이 측정 기계의 필드에 API XD 레이저 시리즈 레이저 간섭계의 응용 특성 및 장점을 소개합니다.
1. 레이저 간섭계에 의한 3 좌표 표시 오류 측정

CMM 기술의 업데이트 및 개발을 통해 기존의 측정 및 탐지 방법은 대규모 CMM의 탐지 요구 사항을 충족 할 수 없었습니다. 물리적 표준이 측정 요구 사항을 충족 할 수없는 경우 레이저 간섭계는 위치 표시 오류를 감지하는 데 사용됩니다. 시스템 오류를 줄이고 CMM의 안정적인 작동 및 측정 데이터의 정확성과 신뢰성을 보장합니다.

2. 변위 센서 감지
포지셔닝 센서를 감지하기 위해 레이저 간섭계를 적용하는 것은 주요 개발 경향이되었으며, 이는 높은 측정 정확도, 빠른 응답 속도 및 쉬운 디지털 측정으로 특징 지어집니다. 일반적으로 정밀 가이드 레일이 설계되고 반사기와 측정 된 센서가 동기 감지를 위해 함께 배치되어 비교를 형성합니다. 즉, 변위 센서의 자동 감지 시스템이 테스트되고 비교됩니다. 레이저 간섭계 및 왕복 테스트 결과가 얻어집니다.
3. 길이 측정 기계 검증
측정 및 테스트 실의 주요 장비로서 길이 측정 기계는 사용 빈도가 높고 다양성이 강하기 때문에 정기적으로 테스트해야합니다.
길이 측정 기계의 기존 마이크로 미터 척도의 표시 오차는 다수의 3 급 블록과 세그먼트 화 된 특수 측정 도구로 검증됩니다. 이 방법은 환경 요구 사항이 높으며 교정 방법은 번거 롭습니다. 길이 측정 기계의 마이크로 미터 스케일의 표시 오차를 정확하게 교정하는 방법은 길이 측정 기계의 검증에 불가피한 문제입니다.
레이저 간섭계로 길이 측정 기계의 데시 미터 스케일의 표시 오차를 교정하는 것은 빠르고 정확합니다. 이는 검증 결과에 대한 기기 온도와 주변 온도의 영향을 효과적으로 제거 할 수 있습니다.
PI 브랜드 XD 레이저 간섭계의 응용 특성
API 브랜드 XD 레이저 시리즈 레이저 간섭계는 사용자의 다양한 요구에 따라 1D/3D/5D/6D 모델로 나뉩니다.
· 1D 모델을 한 번 측정 할 수 있습니다. 위치 정확도, 반복 위치 정확도, 리버스 클리어런스;
· 3D 모델은 한 번에 측정 할 수 있습니다. 위치 정확도, 반복적 인 위치 정확도, 리버스 클리어런스, 수평 방향으로의 가이드 레일의 직선형, 수직 방향으로의 가이드 레일의 직선 및 두 축 사이의 수직 성 (펜타 프리즘 부착이 필요함) 사이의 수직성;
· 모델 5D는 한 번에 측정 할 수 있습니다. 위치 정확도, 반복적 인 위치 정확도, 역류, 수평 방향으로의 가이드 레일의 직선형, 수직 방향의 직선, 두 축 사이의 수직 성 (펜타 프리즘 부착이 필요함), 피치 각도 및 YAW 각도;
· 6D 모델은 한 번에 측정 할 수 있습니다. 포지셔닝 정확도, 반복 위치 정확도, 리버스 클리어런스, 가이드 레일 수평 직선, 수직 스트레이트 니스, 두 축 사이의 수직 (펜타 프리즘 부착이 필요), 피치 각도, 요 각도 및 롤링 각도.

정확도 등급에 따르면 정밀 유형과 표준 유형으로 나뉩니다.
· 정밀도 : 0.2 μm;
· 표준 정밀도 : 0.5 μm.

XD 레이저 간섭계는 구조가 간단하고 사용자가 마스터하기 쉽습니다. 하나의 디밍은 여러 매개 변수를 측정하여 사용자의 작업량을 줄여 거울 그룹을 자주 변경하고 조명을 조정할 수 있습니다. 모든 매개 변수는 양호한 데이터베이스와 높은 일관성을 가진 1 차 측정에 의해 생성됩니다. 2 차 개발 중에 데이터 신뢰성이 보장됩니다. 외부 진동 소스가 측정에 미치는 영향을 효과적으로 피하기 위해 삼각대가 필요하지 않으며 운반하기가 편리합니다.
API 브랜드 XD 레이저 간섭계는 공작 기계 제조, 항공 우주, 군사 장비, 측정 및 탐지, 대학 과학 연구, 직업 교육, 의료 장비, 3C 제조 및 기타 분야에 널리 사용되며 대다수의 사용자가 인정하고 칭찬했습니다. .